技术编号:6225274
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种无论玻璃基板的厚度如何都能够抑制输出变动量的物理量检测元件等。本物理量检测元件具有玻璃基板;具备物理量检测部的基板;通过在上述玻璃基板的一方的面接合上述基板而形成的密封的空间;以及形成于上述玻璃基板的另一方的面且防止上述玻璃基板的另一方的面与大气中水分的接触的功能膜。专利说明物理量检测元件以及物理量检测装置 [0001] 本发明涉及物理量检测元件以及物理量检测装置。 背景技术 [0002] 以往,公知有如下表压传感器,S卩、在玻璃基...
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