技术编号：6226190
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种快动探针二级传动系统，包括一级传动系统、二级传动系统、探针系统、交换装置、真空闸板阀、控制系统；一级传动系统和二级传动系统相连，探针系统安装在二级传动系统上；一级传动系统推动探针系统进入真空室指定位置；二级传动系统推动探针系统由真空室指定位置进入等离子体边界；交换装置用于维护探针头；真空闸板阀用于隔断真空室和快动探针系统之间的真空环境；控制系统用于对整个快动探针二级传动组件进行自动化控制。本发明能够通过控制系统实现快速和自动控制，在不影响其...
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