技术编号：6227329
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。，属光学领域。是为了解决现有的激光干涉法测量微小冲量的偶然误差较大，测量精度低的问题。线性调频激光器发出线偏振光经第一平面反射镜和第二平面反射镜两次反射后入射至平面标准镜；经平面标准镜的前表面透射的光束在平面标准镜内经平面标准镜的后表面和前表面多次反射后获得多束反射光，该多束反射光经平面标准镜的前表面透射之后与经平面标准镜前表面反射后的光束均通过会聚透镜和透过真空窗会聚到真空室外的光电探测器的光敏面上；光电探测器输出电信号给信号处理系统；所述信号处理系统根...
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