技术编号:6227682
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种高精度激光散斑微振动测量系统,包括成像透镜、分束器、空间光调制器、光探测器及调制器驱动系统,所述成像透镜、分束器、空间光调制器及光探测器依次光连接,所述调制器驱动系统与所述分束器光连接,并输出驱动信号到空间光调制器。本发明采用自适应的空间光调制器代替空间光滤波器,能够根据环境的变换进行自适应调整,使得空间光的透过率随着测量环境的变化而变化,从而提高了测量精度。专利说明[0001]本发明涉及激光散斑测振,尤其涉及。背景技术[0002]激光散斑...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。