技术编号:6228140
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种MEMS角速度陀螺的新的设计方法,具体说是一种采用压点驱动方式的三自由度扭转振动MEMS陀螺的设计方法。背景技术传统MEMS陀螺采用单个谐振子的正交振动模态产生的科氏力敏感外部输入角速度,存在模态耦合,对温度和气压变化过于敏感等设计原理的缺陷,传感器的输出漂移和敏感噪声严重,不能满足航空航天导航领域的应用。传统MEMS陀螺采用静电驱动方式存在多种非线性动力学问题。发明内容本发明采用两被动谐振子、单主动谐振子的三自由度扭转振动MEMS角速度陀螺...
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