技术编号:6228771
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太赫兹波检测装置、照相机、成像装置以及测量装置,能够精度良好地将太赫兹波转换为电信号。具备基底基板(2)、和在基底基板(2)上排列的多个第一检测元件(9),第一检测元件(9)具有第一金属层(21),其被设于基底基板(2);支承基板(26),其与第一金属层(21)分离地设置,并且吸收太赫兹波而产生热;以及转换部(35),其被设置成在支承基板(26)的与第一金属层(21)相反侧层叠第二金属层(32)、热释电体层(33)以及第三金属层(34),并且将由...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。