技术编号：6229009
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种磁电阻Z轴梯度传感器芯片，用于探测磁性介质所产生的Z轴磁场分量在XY平面内梯度，从而对磁性介质进行磁成像，其包括Si衬底、分隔Lg距离的两个或两组包含多个通量引导器的集合，以及电互连的磁电阻传感单元排列，磁电阻传感单元位于Si衬底上，且位于通量引导器边缘的上方或下方，通量引导器将Z轴磁场分量转变成平行于Si衬底表面并沿磁电阻传感单元的敏感轴方向，磁电阻传感单元电连接成半桥或者全桥梯度计排列，其中相对的桥臂分隔Lg距离，该传感器芯片可以和PC...
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