技术编号：6229413
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气体检测用传感器，具体是一种MEMS半导体气体传感器，包括具有中空部的衬底和形成于衬底上的感测模块，所述感测模块包括依次层叠设置的第一绝缘层、加热电阻、第二绝缘层、测试电极和气体敏感层；所述传感器还包括控制模块和温度检测模块，温度检测模块、加热电阻和测试电极分别与所述控制模块连接；温度检测模块用于检测环境温度并将环境温度反馈至控制模块，控制模块根据环境温度调整加热电阻的加热功率，进而控制气体敏感层的温度至所需的工作温度。该传感器减小甚至消除了由于...
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