一种接触式扫描测头及其测量方法技术资料下载

技术编号:6229619

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本发明公开了。它以气浮轴承为旋转轴,测量杆的摆臂的顶端为一个圆弧面,它的圆心与气浮轴承的旋转中心重合,圆弧光栅贴合在圆弧面上,摆臂的底端与气浮轴承连接;圆弧光栅读数头固定在测量杆的正上方;测量臂的一端固定在气浮轴承上,另一端安装红宝石测针。本发明基于杠杆原理,借助于一个小型的气浮轴承,提供了一种低接触力、高精度、可扫描的测量机构,实现对工件面形的快速检测。本发明提供的测头与检测工件的接触力可调整到无限小,杠杆的旋转中心采用小型的气浮轴承,从而保证了检测精度...
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