技术编号：6229620
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于光子晶体谐振腔的光学生化探测芯片，包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的基体，在所述基体上的单晶硅层中间刻蚀出狭缝槽，并由所述狭缝槽和其两侧的条形硅波导构成狭缝光波导，在所述狭缝光波导的光信号传播路径上刻蚀第一和第二光子晶体镜面，所述光子晶体镜面刻蚀于狭缝光波导两侧的条形硅波导上，第一光子晶体镜面和第二光子晶体镜面相隔一定距离，并在狭缝光波导上形成光子晶体谐振腔。本发明探测芯片利用光子晶体本身的色散补偿效应，在大规模...
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