技术编号:6229888
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种高精度长程光学表面面形检测仪,包括第一光学头、参考镜和第二光学头,所述第一光学头用于扫描待测光学元件,所述参考镜固定设置于所述第一光学头的侧壁上,所述第二光学头向所述参考镜投射参考光束,并检测所述参考镜反射的参考光束,所述第一光学头与所述第二光学头的精度等级不同。本发明中采用第一光学头和第二光学头,第一光学头进行扫描测量待测光学元件,第二光学头进行第一光学头的扫描运动误差检测,两光学头根据不同的检测需求和等级来设置精度、测量范围以及光束宽度...
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