技术编号:6230667
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了。包括工作台,支撑目标基底;图案投影部,包括光源、光栅部件和投影透镜部件,光栅部件部分地透射和阻挡由光源产生的光以产生光栅图像,投影透镜部件在目标基底的测量目标上生成光栅的像;图像捕获部,捕获被目标基底的测量目标反射的光栅图像;控制部,控制工作台、图案投影部和图像捕获部,计算与测量目标对应的光栅图像的可靠性指数和光栅图像的相位,并利用可靠性指数和相位检查测量目标。因此,可以提高测量的精度。专利说明[0001]本申请是有关申请的分案申请,原申请的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。