技术编号:6231286
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种2×2阵列光源扫描式面形测量光学系统标定装置及方法,其特征在于包括以下步骤在组装扫描式面形测量光学系统和标定平台;启动激光器(1),四束平行光投向所述标定平台;调整所述标定平台上;根据驱动总步数设定标激光器(1)的单次驱动步数;完成CCD一行数据采集;完成CCD成像全区域行、列数据采集;完成光学系统测试动态范围内的角度标定。其显著效果是该方法在简化系统结构的同时,能够提高原系统的测量效率,进一步提高表面面形在线检测的能力。专利说明2X2阵列光...
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