技术编号：6231364
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于传感器，尤其涉及一种基于驻极体的MEMS电场传感器，主要用于空间中低频交流电场的测量。该传感器包括绝缘基板、细条、细丝、支撑面、驻极体；其中细丝置于绝缘基板平行上方，并与基板上的导电细条构成电容。通过支撑面上粘附的驻极体构成的静电场，对处于场中的金属细丝提供适当的偏置。当外加交流电场时金属细丝会产生相应频率和振幅的振动，本发明通过检测金属细丝和基板上导电细条构成的电容的变化来测量外加交流电场的大小和幅值。本发明采用MEMS微加工工艺制造，体积小，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。