技术编号：6231983
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种宽光谱光干涉法测量薄膜厚度的系统，属薄膜测厚。包括ASE光源，波长解调仪及法珀腔干涉平台等。该系统利用光纤准直器将激光器输出的光垂直打到反射镜面，从而在准直器端面和反射镜面中间形成法珀腔，使两束反射光形成干涉，从而通过波长解调仪解调出干涉光的强度变化，再通过相位解调算法，求得没有加入薄膜时法珀腔的腔长，之后在工件下面放上薄膜，抬高反射镜，缩短反射镜到准直器的距离，改变法珀腔的腔长，求得加入薄膜后法珀腔的腔长，没有加入和加入薄膜的两个腔长的差值即为薄膜的...
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