技术编号：6233060
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学精密测量，特别是一种亚表面损伤层厚度的测量方法，首先将样品装夹在匀速运动的装夹机构上，控制装夹机构使样品浸入HF酸溶液，直到样品完全没入溶液；迅速从溶液提出样品，并使用探针式轮廓仪测量腐蚀后的剖面，得到裂纹纵深方向和样品竖直运动方向的轮廓曲线；由曲线上取得数据开始趋向平稳变化的临界点或极点，及测量过程中记录下的起始点，求得这两点之间的高度差或投影在原有表面两点的高度差，即样品亚表面损伤层深度D；利用光学显微镜对腐蚀后的平面进行三维形貌观察。采...
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