技术编号：6233570
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种静电卡盘静电吸附力的测量装置，属于半导体行业设备检测，所述测量装置包括真空腔室和与所述真空腔室连接的真空获取装置，所述真空腔室内设置有静电卡盘基座，所述静电卡盘基座上设置有静电卡盘，所述真空腔室内在所述静电卡盘的下方设置有至少一个测量系统，所述测量系统包括传感器基座、压力传感器和支撑件，其中所述传感器基座固定在所述真空腔室的底部，所述压力传感器安装在所述传感器基座上，所述支撑件的下端与所述压力传感器相连接，所述支撑件的上端适于支撑晶片。本发...
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