技术编号:6234167
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种模块式扫描探针显微镜用探针架,包括支架,在支架上有线路板和安装探针的夹持架,所述的线路板与支架之间为插槽式连接,所述的夹持架与支架之间为分体式并夹持架插入支架内,夹持架与支架形成镶嵌结构。本发明的模块式扫描探针显微镜用探针架具有操作简单、夹持效果好、探针定位精准、提高测试精度和测试效率、制作成本低的优点。专利说明模块式扫描探针显微镜用探针架 [0001] 本发明涉及扫描探针测试,特别涉及一种模块式扫描探针显微镜用探针 架。 背景技术...
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