一种柔性有机离子敏场效应晶体管的制备方法技术资料下载

技术编号:6235544

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,制备器件第一层,在第一层上制备源电极、漏电极和半导体活性层;制备器件第二层,将对应源电极和漏电极的材料剪切,并在对应半导体活性层的位置剪切通道;制备器件第三层,在第三层上剪切对称的圆孔,且直径与第二层的通道宽度相等;最后在器件第二层的两面贴上双面胶粘住第一层和第三层,完成制备。本发明巧妙的使用了微流控层压技术制备通道结合有机场效应晶体管的制备,完成了一种柔性的可检测气体及液体的离子敏感场效应晶体管器件。由于通道的制作简易,及柔性的特点,可应用于低成本的柔...
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