技术编号:6235544
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。,制备器件第一层,在第一层上制备源电极、漏电极和半导体活性层;制备器件第二层,将对应源电极和漏电极的材料剪切,并在对应半导体活性层的位置剪切通道;制备器件第三层,在第三层上剪切对称的圆孔,且直径与第二层的通道宽度相等;最后在器件第二层的两面贴上双面胶粘住第一层和第三层,完成制备。本发明巧妙的使用了微流控层压技术制备通道结合有机场效应晶体管的制备,完成了一种柔性的可检测气体及液体的离子敏感场效应晶体管器件。由于通道的制作简易,及柔性的特点,可应用于低成本的柔...
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