技术编号:6236602
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种强流电子注分析系统,包括在水平方向上安置的基座模块(B),以及在该基座模块(B)上沿着水平方向依次安置多个功能模块,各功能模块共轴且具有统一的接口部件,所述基座模块(B)包括光学导轨(B1)和置于光学导轨(B1)上的刀架支撑支架(B2),各个所述功能模块借助所述刀架支撑支架(B2)安置在所述光学导轨(B1)上。所述功能模块包括电子枪装配模块(G)、电子注传输过程模拟测量模块(F)、电子注能谱测量模块(E)和电子注截面测量模块(M)。本发明在...
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