技术编号：6236875
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了，陀螺包括一个具有上表面的长方形基底，基底中心部分为一个圆柱形空腔，圆柱形空腔的正上方是一个半球谐振体，半球谐振体的边缘键合在基底的上表面，且边缘有两层梯状以引出电极线；半球谐振体的四周边缘键合在基底上，有着很好的稳定性和抗冲击能力。本发明具有工艺步骤简洁，采用常用的成熟微机械加工方法，具有高度对称性，因而可以达到很高的性能。专利说明 [0001]本发明涉及一种微机电的固体波动模态匹配陀螺，具体地，涉及。 背景技术 [0002]...
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