技术编号：6238752
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了，通过在被检测硅片上沉积一层氮化物薄膜，将附着在硅片表面上的小于最小缺陷检测尺寸的微粒尺寸放大至少达到最小缺陷检测尺寸，并利用氮化物的致密特征，使疏松微粒具有致密、光滑的被检测表面，改善了疏松微粒的表面检测形貌，增强了在疏松微粒处对入射光的反射能力和散射光的集中度，从而在暗场光学缺陷检测时可成功捕捉到疏松微粒以及小于最小缺陷检测尺寸的微粒的缺陷信号，因此提高了暗场光学缺陷检测时对小尺寸微粒及疏松微粒的检测能力。专利说明 [0001]本发明...
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