技术编号:6240806
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了,所述传感器包括桥接式纳米测试敏感单元、微流道取样单元、制热取样单元和测试室单元;所述传感器制备方法将纳米材料分散于聚合物体系形成复合物薄膜,将纳米材料通过薄膜微结构引入微加工体系,之后辅助常规的微加工图形化、可控刻蚀、溅射和微电铸等工艺制备桥接式纳米测试敏感单元,同时使用微加工工艺在桥接式纳米测试敏感单元外围设计微流道取样单元、制热取样单元以及测试室单元,形成桥接式纳电极集成检测微系统——自加热微流道桥接式纳电极传感器。该系统同时具备气态液态...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。