技术编号:6243062
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种光学测量装置,可抑制来自测量对象表面或测量对象保持部的反射光的影响,得到测量对象的清晰的像。本发明的光学测量装置使从光源(301)出射的激光分束为信号光、参考光和控制光,利用物镜(309)使信号光会聚照射到测量对象(312)上。控制光由离焦控制部(316、317、318)控制离焦量,并由相位控制部(313、314)控制相位。使被测量对象反射或散射的信号光与控制光合束而生成被控信号光,并使被控信号光与参考光合束,利用干涉光学系统(333)生成相...
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