技术编号:6243382
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种,该测试系统包括脉冲激光系统、微波系统、数据采集系统、扫描运动系统、运动控制系统,测试控制系统和探头,扫描运动系统用于将探头进行三维定位,运动控制系统分别与扫描运动系统、测试控制系统相连,用于根据测试控制系统指令驱动扫描运动系统动作;脉冲激光系统、微波系统均设置在探头内,微波系统与数据采集系统相连,数据采集系统和测试控制系统相连。脉冲激光系统产生脉冲式的红外激光,穿过微波系统中微带天线的中间开孔垂直照射在样品台上的被测样品表面。本发明可对大...
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