技术编号:6243416
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,本电子束焦点检测装置包括电子束聚焦单元,适于调节在任一高度下发射的电子束的焦点位置;光谱采集及控制单元,适于根据所述采集工件在受电子束轰击后工件表面的辐射强度,以检测出最高辐射强度;且通过所述最高辐射强度调节电子束聚焦单元的聚焦电流,以确定在当前高度下的焦点位置;本发明所提出的基于特征元素谱线的电子束焦点检测装置及其工作方法,根据采集到的最高辐射强度确定聚焦电流,进而确定在当前高度下的焦点位置,实现了电子束焦点的迅速、准确、快速控制与定位。专利...
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