技术编号:6246324
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器制造,公开了一种微型传感器本体及其制造方法,包括以下步骤S1在基板上涂布湿润胶体材料形成胶体层,在胶体层的表面覆盖一层一维纳米线膜,形成传感器胚体;S2干燥传感器胚体的胶体层,使胶体层开裂形成多个胶体岛,一维纳米线膜一部分收缩形成粘附在胶体岛表面的收缩膜片,另一部分拉伸形成连接在相邻收缩膜片之间的连接结构。本发明的传感器本体中,收缩膜片与连接结构由一维纳米线膜抻拉而成,两者连接稳定性好,提高传感器件的稳定性;使用裂化的方法,容易获得大规模稳...
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