技术编号：6247092
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种特殊气体置换机器，具体涉及一种结构改良的特殊气体置换机器。背景技术随着产业进步、工业升级及科技进步，我国将迈入以生物科技、IC晶片、纳米科技、光电工业及环境保护科技为主体的知识经济社会，且上述各种产业产出产品的过程与品质测试，均需了解大气中各种气体的浓度变化，继而造成动植物及精密原件的影响程度。举例如下一、大气中C02含量上升15%时，对于植物生长的影响或对于白老鼠活动力的影响，二、大气中S02增加5%对于晶圆的影响，三、大气中He上升5...
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