技术编号:6247112
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。光学精密测量,具体涉及一种利用共焦显微技术测量光滑大曲率样品表面形貌的装置和方法;该装置包括照明模块、探测模块和镀膜样品;该方法首先使待测样品成为镀膜样品,然后利用照明模块激发样品表面的荧光膜发出荧光,再利用探测模块通过轴向响应曲线顶点位置来确定镀膜样品表面位置,最后形成三维扫描成像,清洗膜,恢复待测样品镀膜前的状态;本发明不仅可以提高测量精度,而且可以提高测量效率,同时还可以降低测量成本。专利说明 [0001]光学精密测量,具体涉及一种利用共焦显...
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