技术编号：6247507
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明为一种具有差动效应的MEMS矢量水听器敏感结构，解决了现有的弹性隔振结构的声散射问题、只能针对特定频带的噪声进行降幅处理以及结构稳定性、可靠性不足等问题。该敏感结构包括硅基座框架、悬臂梁、中心连接体、上下对称粘结的微型柱状体，十字形悬臂梁上设置有八个应变压敏电阻。工作时，平台的振动以惯性力的形式作用于微型柱状体，上下对称的微型柱状体产生等值、反向的力矩，声信号通过封装结构产生差模信号并作用于上下微型柱状体，上下对称的微型柱状体产生差模力矩。通过该结构...
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