技术编号:6247781
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了光学薄膜元件热变形的检测光路,包括由固体激光器形成的辐照光路和由固He-Ne激光器形成的入射光路,He-Ne激光器起由近至远分别设置有准直透镜、扩束透镜、光学窗口和第二导光反射镜,倾斜的第二导光反射镜通过与其平行的第一导光反射镜将光束传输到由相互平行反射腔镜和光斑腔镜形成的光腔中;固体激光器起由近至远分别设置有耦合聚焦镜片组,能量光纤和整形镜片组,经过整形镜片组的光束倾斜入射到光学窗口中。本发明低功率光路和高功率光路相互独立,避免了辐照光路对入...
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