技术编号：6247870
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种地面模拟设备中原子氧束流能量测试系统，包括真空容器，原子氧束流输入窗口、粒子偏离电极、粒子准直口、速度切割器、二维移动机构、抽气系统、控制系统、气体过滤系统和质谱仪，真空容器一侧壁上设置有原子氧束流输入窗口，另一侧壁上设置有质谱仪，原子氧束流经粒子偏离电极作用偏转原子氧束流中的带电粒子，并通过粒子准直口限定原子氧束流的飞行方向，飞行方向上设置有速度切割器以对原子氧束流能量进行筛选，速度切割器支撑在二维移动机构进行二维运动，速度切割器由控制系...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。