技术编号:6247910
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种,它包括包括光源、分束器、第一光栅层、第二光栅层、增反层、第一红外光电探测器、第二红外光电探测器、第一固定底座、第二固定底座、回形悬臂梁、上层电容平板、下层电容平板、依据光电信号计算位移的信号处理模块和向电容平板输送电流的电流驱动模块。本发明依据伍德异常现象,利用两层光栅位移时,反射光产生脉冲式变化的现象,通过在两光栅层制作多组光栅,每组光栅中上下两层光栅初始相对位置的不同设定,使得每组光栅产生脉冲式变化对应的上下两层光栅的微位移量不同,从...
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