技术编号：6247941
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开的燃料电池内部温度-湿度-热流密度-电流密度联测传感器，属于燃料电池内部参数测量领域，其温度-湿度-热流密度-电流密度联测传感器主要采用真空蒸发镀膜方法制作，包括十层薄膜第一层为二氧化硅绝缘层，第二层为下电极铝镀层，第三层涂覆高分子聚合物感湿介质，第四层蒸镀上电极铝镀层，第五、六层分别蒸镀铜镀层和镍镀层，第七层为二氧化硅保护层，第八层为二氧化硅厚热阻层，第九、十层为电流密度测量铜镀层和电流密度测量金镀层。本发明实现了燃料电池内部温度、湿度、热流密...
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