燃料电池内部温度-热流密度联测传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:6247970

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本发明的燃料电池内部温度-热流密度联测传感器,是采用真空蒸发镀膜方法在燃料电池流场板上蒸镀五层薄膜构成,第一层为二氧化硅绝缘层,第二层为铜镀层,第三层为镍镀层,第四层为二氧化硅保护层,第五层为二氧化硅厚热阻层,其引线也采用真空蒸发镀膜方法制作。本发明结构简单,制作方便,工序简洁,可布置在燃料电池流场板上的任一位置,同步测量燃料电池内部的温度和热流密度。专利说明燃料电池内部温度-热流密度联测传感器 [0001 ] 本发明属于燃料电池内部热参数测量领域,...
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