技术编号:6248330
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种气体传感器芯片,包括覆盖板、压电基板、电极传感板、气敏感膜以及电阻加热电极,其中,所述电极传感板设置在压电基板之间,所述压电基板设置在覆盖板之间,所述覆盖板和压电基板组成电极导电带,所述电极传感板和覆盖板组成另一电极导电带,所述电阻加热电极设置在两个电极导电带之间,所述气敏感膜覆于压电基板上。本发明具有灵敏度高,响应快,选择性好,结构简单,寿命长等特点,并可针对任何气体进行设计,弥补了传统气体传感器性能不能兼顾的缺点。专利说明 一种气体传感...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。