技术编号:6252401
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种动平衡机加速度传感器,包括MEMS加速度芯片、硅电容和电路基板,所述MEMS加速度芯片安装于电路基板上,所述硅电容设于电路基板上邻近MEMS加速度芯片端部,所述硅电容连接于MEMS加速度芯片。本发明加速度传感器以硅电容为基础,利用MEMS技术原理,从而将水平幅度的变化,转化为传感器输出的电压的变化,在用于动平衡设备上检测动平衡时,能将水平加速度的变化,转化为传感器输出电压的变化,从而检测出产品的不平衡度,同时,本发明传感器体积较小,占用空间少...
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