技术编号：6255629
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，该复合微机械部件的至少一个表 面具有低的摩擦系数。背景技术欧洲专利No. 2 060 534公开了通过使用光敏树脂，硅蚀刻和电镀生长的光刻获 得的制造硅-金属复合微机械部件的方法。但是，此方法难以在金属部分的多个级上实施， 并且必须提供最终的涂覆步骤以改进硅的摩擦学特性。此外，这类方法不适合于具有大的长度直径比的微机械部件，在这种部件中，像具 有例如12%磷的镍-磷材料易于脱落。这种类型的部件的电镀沉积由于所沉积的镍-磷的 内部应力而分层。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。