技术编号：6256967
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明设计一种MEMS (微电子机械系统)制造技术，尤其涉及一种。背景技术目前原子钟是最精准的人造钟，原子钟测量时间的精确度可以达到十亿分之一秒甚至更高。原子钟量子跃迁的特殊类型是超精细跃迁，超精细跃迁涉及原子核磁场和核外电子磁场的相互作用。从原理上讲，原子钟的原理已经基本清楚，目前发展的主要方向有两个方面一方面提高原子钟在精度方面的性能；另一方面，就是在保证其性能的前提下将其微型化。目前，世界上最精准的原子钟在美国科罗拉多，其体积有一辆小汽车那么大。GP...
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