技术编号:6266896
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种气体流量控制装置,特别是有关一种可精确控制流量且需高洁净度的同心圆环式气体质量流量控制装置。背景技术 现今在半导体或面版产业的制程中使用的气体大都是有腐蚀性的气体,而且要随着各产业制程上的种类不同需要所有调整,目的在精确地控制各管线的气体流量,否则所生产的产品会有良率不佳的问题发生。现今在气体流量控制装置的层流组件上大多使用金属的毛细管,根据不同需要的流量大小,来安装不同支数的金属毛细管,因毛细管式的层流组件在安装上十分耗时,加上毛细管的单价...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。