技术编号:6267848
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本申请总体上涉及微机电系统(MEMS),特别地,本申请涉及降低MEMS装置的运行冲击灵敏度的方法和系统。背景技术微机电系统(MEMS)利用微制造技术将电气和机械元件集成在单基片上,如硅。典型地,所述电气元件是利用集成电路方法制造,而所述机械元件是利用与所述集成电路方法兼容的显微机械加工方法制造。MEMS装置的用途正变得越来越广泛,从传感器技术到生物医学到无线电通讯。目前,一些最有趣的MEMS装置的用途是在光学之中,在这些光学用途中,微型机械元件包括光镜、...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。