技术编号:6270629
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及三维复杂微结构快速制造方法,属于微机械加工的。背景技术 微结构作为微机电系统(MEMS)的重要组成部分,其应用非常广泛。微结构的制造工艺主要有硅加工、LIGA、微放电加工和微光造型等。前三种制造工艺很难制作复杂的三维微结构,且制作成本高、周期长;微光造型制造工艺能制作三维复杂微结构,成型速度快,成本低,但目前还不能制作出各部分材料性能不同的微结构,也无法制作出彩色三维零件。发明内容技术问题本发明的目的在于提供一种能够快速、低成本的。技术方案本发明...
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