技术编号：6270653
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅化钙制备加热系统，尤其涉及硅化钙制备加热系统的模拟闭环式温度补偿装置。背景技术微电子产业的不断发展，给人类的生活带来了翻天覆地的变化，人类在尽情享受着高科技成果的同时，逐渐地认识到一些不和谐现象的存在能源问 题，环境污染等等。微电子产业中最常用的一些元素大部分来自于ΠΙ - V族或I1-VI族，不仅有毒，而且在地球上的资源贮量十分有限。材料是社会经济发展的物质基础，推动着人类文明的进步。未来，人类要创造一个资源循环、环境共生型社会，如果使用...
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