技术编号:6270930
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子,具体涉及用于半导体设备气路系统中MFC(质量流量控制器)的在线校验。背景技术 半导体设备中需要精确控制气体的质量流量;每种设备不同的工艺都需要不同的气体的流量配比。如图1所示,为现有技术一条气路的结构。但质量流量控制器MFC在使用一段时间后,由于各种原因,可能会发生零点漂移。质量流量控制器MFC零点漂移会造成工艺不稳定,进而影响整个芯片良率。因此质量流量控制器MFC的校验在半导体设备中至关重要。如图2所示,为现有技术另一种技术方案。它通过...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。