技术编号:6271049
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体设备,特别涉及一种应用于半导体设备中的加热器电源控制系统。背景技术半导体设备例如有机金属化学气相沉积(MOCVD)的加热器具有加热面积大,功率需求量大和温度精度控制要求严等特点。通常加热器负责多个加热区,每个加热区有多个电源并联供电给加热器,以满足加热器对功率的要求。同一加热区多个电源并联供电的控制系统传统上是采用主从控制的方法,即控制单元例如计算机向其中一个电源(通常是主电源)发出控制信号;该电源收到信号后向其它电源(通常是从电源)发...
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