技术编号：6276416
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及化学气相沉积，具体地说就是提供了一种气体载流法中使用的气体蒸发器，即一种恒液面气体蒸发器。使用化学气相沉积工艺制备新材料时，经常需要将高沸点腐蚀性液体原料转变成气体状态使用。常用的方法是气体载流法，即将载流气体(氢气或其它惰性气体)通入液体原料中，载流气体把液体原料的蒸汽带走，形成混合气体。使用这种方法时，由于随着液体蒸气被载流气体的不断带出，容器中的液体减少而液面不断下降，造成形成的混合气体的浓度发生变化，造成沉积质量不均一，另外当液体消耗...
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