技术编号:6278146
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造设备控制系统中配置设备单元的工作状态控制方法,特别涉及半导体制造设备控制系统中配置设备单元的工作状态实时识别方法,和当用预定的单元监控模块识别出不正常工作的单元时把不正常工作单元与正常工作单元立即分开的方法。一般通过高精密工艺来制造半导体器件。把高功能设备配置在半导体生产线上,用于高精密加工。操作员通过半导体制造设备的控制系统精心监视设备的操作,以提高设备的工作效率。如附图说明图1所示,半导体制造设备3设置在生产线上。待加工的批量加工件...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。