技术编号：6281410
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种校准装置，所述校准装置用于通过在半导体设备或印刷电路板、液晶显示元件等的检查装置、曝光装置等中在XY9、Ye或e内移动台板，将在台板上的目标物定位到预定位置，本发明还涉 及一种校正装置的原点返回方法。背景技术构成常规技术第一实施例的包括线性电机的板架装置，能够通过 使用线性电机，以小角度执行定位，并且使其小型和薄型化(例如参 见专利参考文献i)。此外，还有一种2轴平行/1轴旋转移动导向机构，并且使用该机构的2轴平行/1轴旋转台板装置构成常规技...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。