技术编号:6281553
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种统计工艺控制方法,且特别有关于一种半导体群集的高效能统计工艺控制(Statistical Process Control, SPC )系统与方法。技术背景现今的12吋半导体厂为了生产资源分享的考量,会将多个半导体的生 产动线予以机动调整混合,故一批晶片在A晶片厂进入自动搬运系统 (AMHS)以在各机台执行工艺时,可能需移动至B晶片厂的机台执行工艺, 而实际上A晶片与B晶片厂为两个独立不相关的实体工厂。若再加上其它 备援晶片厂,则所有晶片厂...
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