技术编号：6281554
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及物料配送技术，特别是涉及选择跨厂传输系统。技术背景传统上，晶片制造厂(waferFab)的在物搬运时采手推车式系统。但随 者晶片片尺吋由6吋、8吋，增大为12吋，每一个装满25片晶片(wafer) 的晶片传送盒(wafercasette)，例如前开式密闭箱(front opened unified pod,简 称FOUP)，已重达8.2公斤，人工搬运已无法负荷。加上产品的成品率(yield rate )及洁净度等因素的考虑，因此自动化物料配送系统...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。